特征

• 高速扫描驱动器：驻点时间10 ns/pixel，最快采集速度2*100 Mpixel/s。
• 电子过滤系统：SE/BSE信号自由切换，信号混合比例可调。
• 全静电高速偏转系统：可实现高分辨大场模式，4 nm像素点最大视场达64*64 um²。
• 样品台减速技术：降低入射电子落点电压，同时提高回收电子的收集效率。
• 浸没式电磁复合物镜：物镜磁场浸没样品，实现了低像差高分辨率。

用途

用途广泛，涵盖材料科学动态相变、力学响应等研究，生命科学生物微观动态观测，纳米器件动态性能测试与组装，半导体、精密制造等领域微观缺陷检测与失效分析，还能在极端环境下开展微观观测，为多领域基础科研与产品研发提供关键支持。

规格

应用行业

传统汽车	车载电子零部件
新能源/省能源汽车	电池
液晶	材料（背光，滤光片，玻璃基板，液晶材料，偏光片，驱动组件）
电器电子	电子零部件，组件
化学工业	有机材料	无机材料
医药	医药品
材料	金属材料	非金属材料
环境	土壤

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