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超高分辨场发射扫描电子显微镜

(SEM5000X)

SEM5000X是一款超高分辨率场发射扫描电镜,电子光学镜筒设计优化,综合像差降低了30%,从而达到了0.6nm@15kv和 1.0nm@1kv的超高分辨率。超高分辨率和高稳定性,可在先进纳米结构和纳米材料的研究、高端芯片半导体的研发制造等领域发挥其性能优势。

厂家 国仪量子技术(合肥)股份有限公司
产品分类 图像分析检测仪器/表面检查(91) 显微镜(35) 电子显微镜(21)

特征



用途

  1. 纳米科技与新材料:观察二维材料(如石墨烯、黑磷)的原子级缺陷、纳米器件的精细结构、量子点的尺寸与分散状态,支撑前沿材料研发。
  2. 半导体先进制程:检测 3nm 及以下制程芯片的电路布线、光刻误差、晶圆表面微缺陷,保障高端芯片的研发与量产良率。
  3. 生物医学与生命科学:在冷冻 / 低损伤模式下,高分辨观察病毒结构、细胞器细节、生物大分子组装形态,助力疾病机制与生物材料研究。
  4. 新能源与催化:表征催化剂纳米颗粒的形貌、分散性、载体界面结构,以及电池电极的微纳孔隙与膜材料微观形态,优化能源转换效率。
  5. 精密制造与航空航天:分析高端合金、精密传感器、航空零部件的亚微米级缺陷、表面粗糙度与微观成分分布,保障极端环境下的可靠性。
  6. 量子器件与微纳电子:观察量子点、纳米线器件的电极接触界面、微观结构完整性,支撑量子科技与下一代电子器件研发。

应用行业

传统汽车 车载电子零部件



新能源/省能源汽车 电池



液晶 材料(背光,滤光片,玻璃基板,液晶材料,偏光片,驱动组件)



电器电子 电子零部件,组件



化学工业 有机材料
无机材料


医药 医药品



材料 金属材料
非金属材料


环境 土壤



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