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场发射扫描电子显微镜

(SEM5000Pro)

SEM5000Pro是低电压高分辨的热场发射扫描电镜,使用了高压隧道技术(Super-Tunnel)、无交叉电子光路、静电电磁复合物镜设计,减少了空间电荷效应,降低系统像差,实现了 1.1nm@1kV 的分辨能力。低压下的成像分辨能力提升,可对不导电样品或半导体样品进行直接观察,有效降低了样品辐照损伤。

厂家 国仪量子技术(合肥)股份有限公司
产品分类 图像分析检测仪器/表面检查(91) 显微镜(35) 电子显微镜(21)

特征

用途

  1. 纳米材料与纳米科技:观察纳米颗粒、纳米线、二维材料(石墨烯、MOFs)的形貌、尺寸与组装结构,支撑纳米器件研发与性能优化。
  2. 半导体与电子制造:检测 7nm 及以下先进制程芯片的电路图案、光刻缺陷、封装界面微观结构,保障半导体产品良率与可靠性。
  3. 生命科学与生物医学:在低真空 / 冷冻模式下,高分辨观察细胞、细胞器、生物大分子的表面形态,减少样品损伤,助力疾病机制与生物材料研究。
  4. 精密制造与高端材料:分析航空航天合金、精密机械零件、功能涂层的微纳缺陷、表面粗糙度与微观成分分布,优化制造工艺。
  5. 地质与环境科学:表征矿物微晶结构、气溶胶颗粒(PM2.5)、环境污染物的微观形貌与元素组成,辅助地质勘探与环境监测。
  6. 新能源材料:观察锂电池电极材料的微观孔隙结构、催化剂颗粒分散状态,支撑储能材料性能提升研究。

应用行业

传统汽车 车载电子零部件



新能源/省能源汽车 电池



液晶 材料(背光,滤光片,玻璃基板,液晶材料,偏光片,驱动组件)



电器电子 电子零部件,组件



化学工业 有机材料
无机材料


医药 医药品



食品 饮料生产
食品加工


材料 金属材料
非金属材料


环境 土壤



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