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半导体材料气体检测器

(XPS-7)

用于检测半导体材料气体的泄漏

具有内置采样泵、可自动吸引气样,使用温度范围:0℃-40℃,具有两段报警

厂家 新考思莫施电子(上海)有限公司
产品分类 理化分析仪器(72) 分析装置(42) 其他(24)

特征

●传感器为定电位电解式原理
●只需更换传感器单元就可以检测各种对象气体
●用盒式传感器单元无需进行气体检测器校正
●大幅度缩减维护时间

用途

・适用于半导体行业的微量气体泄漏的检测
・不同气体传感器单元不同、报警值设定也不同
・检测浓度范围为ppm、ppb级

应用行业

环境 空气



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